УДК 621.793.18

Нанесение покрытий путем распыления вещества бомбардировкой ионами (при тлеющем разряде в газе)

вверх домой

код УДК	описание	примечания
621.793.182	Катодное распыление
621.793.184	Ионное осаждение

Сгенерировано Флэнг-системой из метаописания УДК в формате Dublin Core
© 2004 TeaCode.com